（2023年）
Applied Materials, Inc. 應用材料股份有限公司－卓越技術合作
ASM International 台灣先藝科技股份有限公司－卓越全球量產支援
志聖工業股份有限公司－卓越量產支援
長春石油化學股份有限公司 －化學品量產支援與綠色製造
DISCO Corporation 迪思科高科技股份有限公司－卓越量產支援
彰京開發股份有限公司－新廠建置表現卓越
KAJIMA CORPORATION 鹿島建設株式会社－新廠建置表現卓越
KLA Corporation 美商科磊股份有限公司－卓越技術合作
Lam Research Corporation 科林研發股份有限公司－卓越技術與全球量產支援
Lasertec Corporation 雷泰光電股份有限公司－傑出EUV光罩檢驗與量測合作
帆宣系統科技股份有限公司－新廠建置表現卓越
Merck 默克集團－化學前驅物材料技術合作與量產支援
Shin-Etsu Chemical Co. LTD 信越化學工業株式會社－黃光材料技術合作與量產支援
勝一化工股份有限公司－化學品量產支援和綠色製造
SUMCO CORPORATION 株式會社SUMCO－晶圓原物料量產支援
僑力化工股份有限公司－化學品全球產能建立
和淞科技股份有限公司－新廠建置表現卓越
TOKYO ELECTRON LIMITED 東京威力科創股份有限公司 －卓越技術合作
晃誼科技股份有限公司－新廠建置表現卓越
ULVAC, Inc. 優貝克科技股份有限公司－卓越量產支援
（2022年）
Applied Materials, Inc. 應用材料股份有限公司 - 卓越技術合作
ASM International 台灣先藝科技股份有限公司 - 卓越量產支援
ASML Holding N.V. 艾司摩爾股份有限公司 - 傑出技術發展合作
達欣工程股份有限公司 - 卓越廠務設施建設
新應材股份有限公司 - 卓越黃光材料開發合作與量產支援
喬治費歇爾股份有限公司 - 卓越廠務設施建設
JSR Corporation 日商捷時雅股份有限公司 - 卓越黃光材料開發合作與量產支援
KLA Corporation 美商科磊股份有限公司 - 卓越製程控制合作
Kokusai Electric Corporation - 卓越量產支援
Lam Research Corporation 科林研發股份有限公司 - 卓越技術合作
帆宣系統科技股份有限公司 - 卓越廠務設施建設
諾威量測設備股份有限公司 - 卓越量產支援
Onto Innovation Inc. 美商昂圖科技股份有限公司 - 新進技術合作
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 信越半導體株式會社 - 卓越晶圓原物料開發合作與量產支援
SUMCO Corporation 勝高科技股份有限公司 - 卓越晶圓原物料技術合作與量產支援
Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co., Ltd. - 卓越量產支援
Tokuyama Corporation 日商德亞瑪股份有限公司 - 卓越化學材料
TOKYO ELECTRON LIMITED 東京威力科創股份有限公司 - 卓越技術合作
（2020年）
Applied Materials, Inc. 應用材料股份有限公司 - 技術合作
Asahi Kasei Corporation 旭化成科技股份有限公司 - 黃光材料技術合作與量產支援
ASML Holding N.V. 艾司摩爾股份有限公司 - 技術合作
長春石油化學股份有限公司 - 綠色永續發展
DISCO Corporation 迪思科高科技股份有限公司 - 支援量產
IBM 國際商業機器股份有限公司 - 晶圓廠自動化
Lam Research Corporation 科林研發股份有限公司 - 技術合作
SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. 迪恩士半導體科技股份有限公司 - 支援量產
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 信越化學工業株式會社 - 晶圓原物料量產支援
SUMCO Corporation 勝高科技股份有限公司 - 晶圓原物料技術合作與量產支援
Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co., Ltd. 住重離子科技股份有限公司 - 支援量產
和淞科技股份有限公司 - 廠務設施建設
特諾本科技有限公司 - 支援量產
Tokyo Electron Limited 東京威力科創股份有限公司 - 支援量產
漢唐集成股份有限公司 - 廠務設施建設
（2019年）
Applied Materials, Inc. 應用材料股份有限公司 – 技術合作
ASM International N.V. 台灣先藝科技股份有限公司 – 技術合作
ASML 艾司摩爾股份有限公司–支援量產加速
Ebara Corporation 荏原製作所 – 化學機械研磨設備優異表現
Lam Research Corporation 科林研發股份有限公司–支援量產加速
Tokyo Electron Limited 東京威力科創股份有限公司 – 支援量產加速
Teradyne Inc. 美商泰瑞達有限公司– 技術合作
KANTO-PPC Inc. 關東鑫林科技股份有限公司–化學材料品質合作
Merck Group 默克先進科技材料股份有限公司 – 化學前驅物優異表現
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 信越化學工業株式會社–黃光材料技術合作
SUMCO Corporation 勝高科技股份有限公司 – 矽晶圓優異表現
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