ドライエッチング技術のイノベーション史（湯之上隆先生、EE、2018）

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ドライエッチング技術のイノベーション史 (2018.8-11)

最大の半導体製造装置市場となった「ドライエッチング」とは

誰がドライエッチング技術を発明したのか

なぜインベンターはイノベーターになれなかったのか？

チャージングダメージの障壁を乗り越えた日米の情熱

最先端のドライエッチング技術－マルチ・パターニングとHARC－

アトミックレイヤーエッチングとドライエッチング技術の未来展望